2016-12-23
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微调架名称 |
轴 |
电/手动 |
移动量 |
最小分辨率 |
左入射,出射端微调架 |
X/Y/Z |
手动 |
±6.5MM |
0.5微米 |
θx θY θZ |
手动 |
±2.5° |
29″/格 |
|
上方切换微调架 |
Z |
手动 |
±8° |
20″/格 |
上一个:无
下一个:无