2016-12-23
微调架名称 |
轴 |
电/手动 |
移动量 |
最小分辨率 |
左入射,出射端微调架 |
X/Y/Z |
手动 |
±6.5MM |
0.5微米 |
θx θY θZ |
手动 |
±2.5° |
29″/格 |
|
上方旋转 |
θ |
手动 |
±180° |
55″/格 |
上一个:无
下一个:无